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產(chǎn)品分類
Cassification
更新時間：2026-07-17 
瀏覽次數(shù)：174在半導(dǎo)體制造、分析儀器、科研實驗及高純氣體處理等對高真空和潔凈度有要求的場景中，渦輪分子泵是實現(xiàn)10??Pa乃至更高真空度的關(guān)鍵設(shè)備。愛發(fā)科（ULVAC）YTP-50MB渦輪分子泵作為YTP系列Ver.B的代表型號，依托高速轉(zhuǎn)子動量傳遞原理與陶瓷球軸承技術(shù)，以高抽速、低噪音、從大氣壓到高真空的連續(xù)排氣能力等特性，成為各類高真空系統(tǒng)的可靠選擇。
YTP-50MB的核心工作原理建立在氣體分子在分子流狀態(tài)下與高速旋轉(zhuǎn)葉片發(fā)生動量交換這一物理機制之上。它本質(zhì)上是一種動量傳輸型真空泵——通過高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而被抽除。
泵的核心運動部件由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和固定的定子組成：
葉片撞擊與動量傳遞：渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子上安裝有多級動葉片，以數(shù)萬轉(zhuǎn)每分鐘的速度高速旋轉(zhuǎn)。氣體分子進(jìn)入泵的進(jìn)氣口后，與高速旋轉(zhuǎn)的動葉片發(fā)生碰撞。動葉片將定向動量傳遞給氣體分子，使其獲得朝向排氣方向的運動速度。
逐級壓縮與定向流動：氣體分子經(jīng)過第一級動葉片加速后，進(jìn)入下一級定子葉片（靜葉片）——靜葉片將分子運動方向重新調(diào)整，使其以合適角度進(jìn)入下一級動葉片。如此經(jīng)過多級動、靜葉片的交替作用，氣體分子被逐級加速、壓縮并推向排氣口，最終被前級泵（輔助泵）排出泵外。
與前級泵的協(xié)同工作：渦輪分子泵無法直接在大氣壓下工作，需要與前級泵（如油旋片泵或干式渦旋泵）串聯(lián)使用。前級泵負(fù)責(zé)將系統(tǒng)壓力從大氣壓降低至渦輪分子泵的工作壓力范圍（分子流狀態(tài)），此后渦輪分子泵啟動并接管高真空段的抽氣任務(wù)，將壓力進(jìn)一步降低至10??Pa乃至更低。
陶瓷球軸承支撐：YTP-50MB采用陶瓷球軸承作為轉(zhuǎn)子支撐部件。相比傳統(tǒng)金屬軸承，陶瓷球軸承具有更高的耐磨性和更低的摩擦系數(shù)，能夠在高速旋轉(zhuǎn)條件下保持長期穩(wěn)定運行，無需頻繁更換軸承。
1. 從大氣壓到高真空的連續(xù)排氣能力
YTP-50MB作為高真空排氣單元，可實現(xiàn)從大氣壓到高真空的連續(xù)排氣。在實際操作中，先由前級泵將系統(tǒng)從大氣壓抽至渦輪分子泵的工作壓力區(qū)間，隨后渦輪分子泵啟動并接管高真空段的抽氣任務(wù)，最終將壓力降至10??P別。這一能力使其適用于需要從大氣壓狀態(tài)開始建立高真空的各類系統(tǒng)。
2. 70L/s的抽速，適配多種高真空場景
YTP-50MB對氮氣（N?）的抽速為70L/s，對氫氣的抽速為49L/s。這一抽速區(qū)間適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備、蒸鍍設(shè)備、濺射設(shè)備、分析儀器及科研實驗裝置等對高真空有要求的場景。
3. 10??Pa的極限壓力
YTP-50MB的到達(dá)壓力（極限壓力）可達(dá)10??Pa。在選配烘烤加熱器并進(jìn)行脫氣處理后，可進(jìn)一步排氣至10??Pa的超高真空區(qū)域。
4. 低噪音與低振動設(shè)計
YTP-50MB充分考慮了使用環(huán)境對噪音和振動的敏感要求。運轉(zhuǎn)噪音在極限壓力下可低至43dB(A)或以下——這一噪音水平低于日常辦公室環(huán)境，使其可部署于實驗室、分析室等對靜音有要求的場所，無需額外隔音設(shè)施。
5. 陶瓷球軸承，降低運行成本
YTP-50MB采用陶瓷球軸承作為轉(zhuǎn)子支撐方案。陶瓷球軸承具有以下實際價值：
耐磨性高：陶瓷材料硬度高、耐磨性好，在高速旋轉(zhuǎn)條件下壽命更長
無需頻繁更換：免去了繁瑣的換油和軸承更換作業(yè)
降低運行成本：減少了維護(hù)頻次和備件消耗
6. 兩種操作模式與多種規(guī)格選型
YTP系列提供兩種操作模式：
SA型：可通過START/STOP開關(guān)實現(xiàn)自動排氣，操作簡便
M型：手動操作模式，適用于需要靈活控制的場景
輔助泵方面，可選擇油回轉(zhuǎn)泵作為標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格，也可選擇干式渦旋泵的干式規(guī)格。吸氣口提供ICF114、VG65、ISO63-K等多種法蘭規(guī)格。
7. 停電對策與粗抽監(jiān)控
YTP-50MB在前級閥門上標(biāo)配電磁閥，在停電時可自動關(guān)閉前級閥，防止逆流和故障。此外，標(biāo)配皮拉尼真空計，可在粗抽排氣過程中實時確認(rèn)壓力狀態(tài)。
| 參數(shù) | YTP-50MB | YTP-50SAB | YTP-50MB-DRY | YTP-50SAB-DRY |
|---|---|---|---|---|
| TMP吸氣口 | ICF114, VG65, ISO63-K | ICF114, VG65, ISO63-K | ICF152, VG100, ISO100-K | ICF152, VG100, ISO100-K |
| TMP到達(dá)壓力（烘烤前） | 10?? Pa | 10?? Pa | 10?? Pa | 10?? Pa |
| TMP到達(dá)壓力（烘烤后） | 10?? Pa | 10?? Pa | 10?? Pa | 10?? Pa |
| TMP抽速（N?） | 70 L/s | 70 L/s | 70 L/s | 70 L/s |
| TMP抽速（H?） | 49 L/s | 49 L/s | 49 L/s | 49 L/s |
| 輔助泵排氣口 | G3/4 | G3/4 | NW16 | NW16 |
| 輔助泵抽速（50Hz） | 50 L/min | 50 L/min | 90 L/min | 90 L/min |
| 輔助泵抽速（60Hz） | 60 L/min | 60 L/min | 100 L/min | 100 L/min |
| 電源容量 | 1.2 kVA | 0.9 kVA | 1.7 kVA | 1.6 kVA |
| 穩(wěn)定時功率 | 0.6 kVA | 0.4 kVA | 1.0 kVA | — |
| 質(zhì)量 | 55 kg | 57 kg | 86 kg | 85 kg |
數(shù)據(jù)來源：愛發(fā)科產(chǎn)品規(guī)格表
半導(dǎo)體制造設(shè)備：作為蒸鍍設(shè)備、濺射設(shè)備的主排氣系統(tǒng)，為晶圓制造提供潔凈的高真空環(huán)境。
分析儀器：用于質(zhì)譜儀、電子顯微鏡等分析設(shè)備的真空系統(tǒng)，保障高精度檢測所需的真空條件。
科研實驗裝置：各類實驗與研究設(shè)備的真空排氣系統(tǒng)，從大氣壓到高真空的全流程抽氣。
高純氣體真空置換：用于高純氣體的真空置換工藝。
超高真空系統(tǒng)粗抽：作為超高真空系統(tǒng)的粗抽排氣系統(tǒng)，配合烘烤脫氣可達(dá)10??Pa。
YTP-50MB是愛發(fā)科在渦輪分子泵領(lǐng)域的一款代表性產(chǎn)品。通過高速轉(zhuǎn)子動量傳遞機制與陶瓷球軸承技術(shù)的配合，在實現(xiàn)70L/s（N?）抽速和10??Pa極限壓力的同時，將運轉(zhuǎn)噪音控制在43dB(A)以下。其從大氣壓到高真空的連續(xù)排氣能力、低噪音低振動設(shè)計、SA/M兩種操作模式以及靈活的前級泵選型，使其成為半導(dǎo)體制造、分析儀器、科研實驗及高純氣體處理等對高真空和潔凈度有要求場景的可靠選擇。
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