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產(chǎn)品分類
Cassification
更新時(shí)間：2026-07-17 
瀏覽次數(shù)：111在半導(dǎo)體CVD（化學(xué)氣相沉積）、干法刻蝕等高溫工藝場(chǎng)景中介紹，工藝氣體常含有氯化物、氟化物等腐蝕性成分及升華性副產(chǎn)物。這類物質(zhì)在低溫環(huán)境下容易冷凝沉積，導(dǎo)致泵內(nèi)部件腐蝕、轉(zhuǎn)子卡滯甚至停機(jī)。愛(ài)發(fā)科（ULVAC）HR系列高溫區(qū)域均熱化干式真空泵針對(duì)這一痛點(diǎn)開(kāi)發(fā)，其中HR60作為該系列的入門型號(hào)，依托多級(jí)羅茨無(wú)油容積式壓縮與高溫區(qū)域均熱化兩大核心技術(shù)，為CVD、刻蝕等含腐蝕性氣體的工藝提供了可靠的真空解決方案。
HR60的核心工作原理建立在多級(jí)羅茨無(wú)油容積式壓縮這一物理機(jī)制之上。它本質(zhì)上是一種干式容積真空泵——通過(guò)多組精密嚙合的羅茨轉(zhuǎn)子同步反向旋轉(zhuǎn)，周期性地改變轉(zhuǎn)子與泵殼之間形成的封閉腔體容積，實(shí)現(xiàn)氣體的吸入、壓縮與排出。
泵的核心運(yùn)動(dòng)部件由多組精密三葉羅茨轉(zhuǎn)子組成：
非接觸式運(yùn)轉(zhuǎn)：多組羅茨轉(zhuǎn)子在同步齒輪驅(qū)動(dòng)下以相反方向高速旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與泵殼之間始終保持微米級(jí)的微小間隙，無(wú)需任何潤(rùn)滑油作為密封介質(zhì)。這一設(shè)計(jì)從根源上杜絕了油蒸氣的產(chǎn)生與返流。
多級(jí)容積式壓縮：HR60采用多級(jí)羅茨結(jié)構(gòu)，氣體由進(jìn)氣口吸入后，依次經(jīng)過(guò)每一級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子的壓縮。每一級(jí)轉(zhuǎn)子將氣體推入下一級(jí)，腔體容積沿輸送方向逐級(jí)縮小，氣體被逐步壓縮至大氣壓以上，最終從排氣口排出。多級(jí)結(jié)構(gòu)的優(yōu)勢(shì)在于將巨大的壓縮比（從數(shù)帕至大氣壓）合理分配至多個(gè)壓縮階段，使每一級(jí)均在高效區(qū)間工作。
無(wú)油密封與冷卻：軸承和齒輪等旋轉(zhuǎn)部件的潤(rùn)滑油通過(guò)精密軸封嚴(yán)格隔離，確保氣體接觸區(qū)域不使用任何油類介質(zhì)。泵體采用水冷方式進(jìn)行冷卻，冷卻水流量需大于5.0L/min，確保泵體在高溫工藝環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行。
高溫區(qū)域均熱化：HR60的核心技術(shù)特征在于對(duì)泵體內(nèi)部實(shí)施高溫區(qū)域均熱化處理——通過(guò)加熱系統(tǒng)將泵腔整體維持在較高溫度，使CVD、刻蝕工藝中產(chǎn)生的副產(chǎn)物（如氯化銨、氟化銨等）在到達(dá)泵腔冷凝之前即被排出。這一設(shè)計(jì)有效防止了副產(chǎn)物在泵內(nèi)壁和轉(zhuǎn)子表面的附著與堆積。
1. 高溫區(qū)域均熱化，應(yīng)對(duì)腐蝕性工藝
HR60專門針對(duì)CVD、干法刻蝕等產(chǎn)生升華性物質(zhì)的工藝進(jìn)行了優(yōu)化。泵體內(nèi)部通過(guò)加熱系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)整體均熱化，使泵腔溫度維持在副產(chǎn)物冷凝點(diǎn)以上。這一設(shè)計(jì)的實(shí)際價(jià)值在于：
防止副產(chǎn)物冷凝沉積：避免氯化物、氟化物等腐蝕性物質(zhì)在泵腔內(nèi)壁和轉(zhuǎn)子表面附著
延長(zhǎng)部件壽命：減少腐蝕性物質(zhì)對(duì)泵體金屬材料的化學(xué)侵蝕
降低停機(jī)維護(hù)頻率：減少因副產(chǎn)物堆積導(dǎo)致的轉(zhuǎn)子卡滯和性能衰減
2. 高抽速，適配批量生產(chǎn)
HR60在50Hz電源條件下的最大排氣速度達(dá)62m3/h（約1030L/min） ，60Hz條件下達(dá)80m3/h（約1333L/min） 。這一抽速區(qū)間適用于中型CVD設(shè)備、刻蝕機(jī)及批量生產(chǎn)型真空系統(tǒng)，可在較短時(shí)間內(nèi)完成腔體抽空。
3. 到達(dá)壓力滿足工藝需求
HR60的到達(dá)壓力（極限壓力）為5Pa，可滿足CVD、刻蝕等工藝對(duì)基礎(chǔ)真空度的要求。配合其高溫均熱化設(shè)計(jì)，在含腐蝕性氣體的工藝環(huán)境中仍能保持穩(wěn)定的真空性能。
4. 水冷散熱，適配高溫工藝
HR60采用水冷方式散熱，冷卻水流量需大于5.0L/min，冷卻水一次壓力范圍為0.1～0.3MPa，出入口壓差需大于0.1MPa。水冷設(shè)計(jì)的優(yōu)勢(shì)在于：
高效散熱：在高溫工藝環(huán)境下有效控制泵體溫度
溫度穩(wěn)定：水冷系統(tǒng)可精確控制冷卻水溫度，保持泵體熱平衡
適配高溫環(huán)境：適用于CVD、刻蝕等產(chǎn)生大量熱量的工藝場(chǎng)景
5. N2吹掃與氣鎮(zhèn)功能
HR60配備N2吹掃和氣鎮(zhèn)功能，進(jìn)一步提升了在腐蝕性工藝環(huán)境中的可靠性：
軸封N2吹掃：流量為5SLM，防止腐蝕性氣體侵入軸承和齒輪區(qū)域
氣鎮(zhèn)N2吹掃：流量范圍為0～45SLM，可根據(jù)工藝需求調(diào)節(jié)，用于稀釋和排出可凝性氣體
6. 緊湊結(jié)構(gòu)與標(biāo)準(zhǔn)接口
HR60的吸氣口徑為VG50（KF50） ，排氣口徑為KF40。標(biāo)準(zhǔn)化的接口設(shè)計(jì)便于與現(xiàn)有真空管路系統(tǒng)快速對(duì)接。整機(jī)質(zhì)量180kg，在同類60m3/h抽速的干式真空泵中具有較好的緊湊性。
| 參數(shù) | 規(guī)格 |
|---|---|
| 最大排氣速度（50Hz） | 62 m3/h（約1030 L/min） |
| 最大排氣速度（60Hz） | 80 m3/h（約1333 L/min） |
| 到達(dá)壓力 | 5 Pa |
| 最大排氣壓力（吸入壓力） | 大氣壓 |
| 吸氣口徑（CE規(guī)格） | VG50（KF50） |
| 排氣口徑 | KF40 |
| 冷卻方式 | 水冷 |
| 冷卻水流量 | >5.0 L/min |
| 冷卻水一次壓力 | 0.1～0.3 MPa |
| 冷卻水出入口壓差 | >0.1 MPa |
| 軸封N2吹掃流量 | 5 SLM |
| 氣鎮(zhèn)N2吹掃流量 | 0～45 SLM |
| 電源 | 三相 200V（50/60Hz）、220V（60Hz） |
| 穩(wěn)定時(shí)電流（200V） | 7.1 A |
| 最大值電流（200V） | 7.3 A |
| 質(zhì)量 | 180 kg |
數(shù)據(jù)來(lái)源：ULVAC規(guī)格表
半導(dǎo)體CVD：在化學(xué)氣相沉積工藝中，HR60的高溫區(qū)域均熱化設(shè)計(jì)可有效防止反應(yīng)副產(chǎn)物在泵腔內(nèi)冷凝沉積，保障工藝的連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。
干法刻蝕：用于等離子刻蝕設(shè)備的真空排氣，處理含氟、含氯等腐蝕性工藝氣體。
平板顯示制造：適用于FPD（平板顯示）制造中的沉積和刻蝕工藝。
太陽(yáng)能電池制造：用于光伏電池片鍍膜工藝的真空系統(tǒng)。
一般工業(yè)CVD：適用于各類工業(yè)級(jí)CVD設(shè)備的真空排氣。
HR60是愛(ài)發(fā)科在高溫工藝干式真空泵領(lǐng)域的一款代表性產(chǎn)品。通過(guò)多級(jí)羅茨無(wú)油容積式壓縮機(jī)制與高溫區(qū)域均熱化技術(shù)的配合，在實(shí)現(xiàn)62m3/h（50Hz）最大抽速和5Pa到達(dá)壓力的同時(shí)，有效解決了CVD、刻蝕等工藝中副產(chǎn)物冷凝沉積的行業(yè)痛點(diǎn)。其水冷散熱、N2吹掃與氣鎮(zhèn)功能等設(shè)計(jì)，使其成為半導(dǎo)體CVD、干法刻蝕及平板顯示制造等含腐蝕性氣體工藝場(chǎng)景中可靠的真空獲取方案。
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