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產(chǎn)品分類
Cassification
更新時(shí)間：2026-07-16 
瀏覽次數(shù)：238在半導(dǎo)體封裝、新能源電池、真空裝置制造及食品醫(yī)藥包裝等對(duì)氣密性有嚴(yán)格要求的領(lǐng)域介紹，微小泄漏的精準(zhǔn)檢測(cè)直接關(guān)系到產(chǎn)品可靠性與安全性。愛發(fā)科（ULVAC）HELIOT 711W1氦質(zhì)譜檢漏儀依托磁場(chǎng)90度偏向型質(zhì)譜分析原理與自由選擇流量方式排氣系統(tǒng)，以高靈敏度、快速啟動(dòng)、智能操控等特性，成為各類真空設(shè)備泄漏檢測(cè)及產(chǎn)品氣密性檢測(cè)的可靠工具。
HELIOT 711W1的核心工作原理建立在質(zhì)譜分析（Mass Spectrometry） 與氦氣示蹤兩大技術(shù)之上。氦氣因其獨(dú)特的物理性質(zhì)被選為理想示蹤氣體——原子半徑僅約31pm，可穿透其他氣體無法通過的超細(xì)微漏孔；化學(xué)惰性，不可燃、不反應(yīng)，對(duì)設(shè)備和操作人員安全；在大氣中含量僅約5ppm，背景噪音極低，可保證測(cè)量精度。
設(shè)備的工作過程包含三個(gè)核心步驟：
電離：進(jìn)入質(zhì)譜分析管的氣體分子被燈絲加熱，經(jīng)電子轟擊形成正離子（He?）
磁場(chǎng)偏轉(zhuǎn)分離：離子在固定磁場(chǎng)中加速運(yùn)動(dòng)，根據(jù)洛倫茲力原理，不同質(zhì)荷比的離子偏轉(zhuǎn)軌跡半徑不同。只有質(zhì)荷比為4的氦離子以特定半徑通過窄縫到達(dá)離子收集極
定量檢測(cè)：收集極捕獲到極其微小的離子電流（約10?1?A量級(jí)），經(jīng)放大后轉(zhuǎn)換為泄漏率數(shù)值顯示在屏幕上
HELIOT 711W1安裝的專用排氣系統(tǒng)采用了自由選擇流量方式，可在保持高靈敏度的同時(shí)靈活適配不同檢測(cè)需求。
1. 高靈敏度檢測(cè)，覆蓋寬泄漏范圍
HELIOT 711W1的最小可檢泄漏率在超微漏設(shè)定模式下可達(dá)0.1×10?12Pa·m3/sec。這一靈敏度水平可檢測(cè)到極微小的漏孔，適用于半導(dǎo)體封裝、真空裝置等對(duì)氣密性要求嚴(yán)苛的場(chǎng)景。設(shè)備支持6種測(cè)試模式的自由切換：
| 測(cè)試模式 | 適用場(chǎng)景 |
|---|---|
| 自動(dòng)模式 | 常規(guī)檢漏操作 |
| 微漏模式 | 微小泄漏檢測(cè) |
| 中漏模式 | 中等泄漏檢測(cè) |
| 大漏模式 | 較大泄漏快速篩查 |
| 超微漏模式 | 靈敏度要求場(chǎng)景 |
| 吸槍模式 | 正壓法檢漏（需選購部件） |
2. 快速啟動(dòng)，縮短等待時(shí)間
HELIOT 711W1的啟動(dòng)時(shí)間在無效正（快速起動(dòng)）設(shè)定下僅需3分鐘。相比傳統(tǒng)檢漏儀較長的預(yù)熱和準(zhǔn)備周期，這一快速啟動(dòng)能力使設(shè)備可在需要時(shí)迅速投入使用，減少了等待時(shí)間，提升了檢測(cè)效率。停止時(shí)間同樣為3分鐘。
3. 智能校正與自動(dòng)調(diào)零
設(shè)備在啟動(dòng)時(shí)執(zhí)行自動(dòng)校正，配備的校正漏孔具有溫度補(bǔ)正和年補(bǔ)正功能。此外還搭載了靈敏度檢查功能，可對(duì)靈敏度數(shù)值進(jìn)行管理。即使在啟動(dòng)結(jié)束后，也可進(jìn)行靈敏度再校正。對(duì)于測(cè)試系統(tǒng)容積較大的情況，建議使用1.0×10??Pa·m3/s以上的面型校正漏孔進(jìn)行手動(dòng)或自動(dòng)靈敏度校正。
自動(dòng)調(diào)零功能可開關(guān)控制，通過自動(dòng)調(diào)零操作自動(dòng)執(zhí)行并補(bǔ)正零點(diǎn)偏移。
4. 智能操控與多語言界面
HELIOT 711W1配備彩色觸摸屏，操作方法及故障顯示均通過文字和圖像呈現(xiàn)。泄漏率顯示支持包括線性顯示、指針顯示在內(nèi)的4種測(cè)試畫面的自由切換。
設(shè)備支持6種語言選擇：日語、英語、韓語、簡體中文、繁體中文、德語。
5. 豐富的輸入輸出接口
設(shè)備配備約20個(gè)輸入輸出信號(hào)點(diǎn)：
設(shè)定點(diǎn)（泄漏率接點(diǎn)）輸出3個(gè)
泄漏率輸出
打印機(jī)輸出
測(cè)試開始/結(jié)束信號(hào)輸入
主機(jī)起動(dòng)/停止信號(hào)輸入
RS-232C輸入輸出
外部閥方面，對(duì)設(shè)在外部的外部校正漏孔的閥輸出（24V）也可進(jìn)行自動(dòng)控制。
6. 閥操作全自動(dòng)控制
HELIOT 711W1的內(nèi)置閥采用全自動(dòng)控制。外部閥同樣支持自動(dòng)控制，有關(guān)其他內(nèi)容的程序控制可根據(jù)需要定制軟件。
7. 緊湊設(shè)計(jì)與便攜性
設(shè)備外形尺寸為480（W）×335（D）×505（H）mm，重量約43kg。在同類檢漏儀中屬于緊湊設(shè)計(jì)，便于在不同檢測(cè)工位間移動(dòng)部署。
| 參數(shù) | 規(guī)格 |
|---|---|
| 分析管類型 | 磁場(chǎng)90度偏向型質(zhì)量分析管 |
| 最小可檢漏率 | 0.1×10?12Pa·m3/sec（超微漏設(shè)定） |
| 主泵 | 復(fù)合分子泵 25L/sec |
| 前級(jí)泵 | 油回轉(zhuǎn)真空泵 30L/min |
| 真空計(jì) | 皮拉尼真空計(jì) WP-01+GP-H |
| 測(cè)試口 | NW25 |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 3分鐘（快速起動(dòng)設(shè)定） |
| 停止時(shí)間 | 3分鐘 |
| 使用溫度范圍 | 10～40℃ |
| 測(cè)試模式 | 6種（自動(dòng)/微漏/中漏/大漏/超微漏/吸槍） |
| 語言支持 | 6種 |
| 顯示畫面 | 4種（含線性、指針顯示） |
| 外形尺寸 | 480×335×505 mm |
| 重量 | 約43kg |
| 電源 | AC220V 6A/3A |
數(shù)據(jù)來源：愛發(fā)科產(chǎn)品規(guī)格表
半導(dǎo)體與電子制造：用于半導(dǎo)體封裝的氣密性檢測(cè)，確保芯片封裝后的密封可靠性；用于電子元器件、連接器的泄漏檢測(cè)。
真空裝置制造：用于各類真空設(shè)備的泄漏檢測(cè)，在設(shè)備出廠前驗(yàn)證其氣密性。
新能源電池：用于二次電池（鋰電池等）的漏液測(cè)試，檢測(cè)電池殼體密封性，防止電解液泄漏。
制冷與空調(diào)：用于空調(diào)、冰箱等制冷系統(tǒng)的泄漏檢測(cè)。
食品與醫(yī)藥包裝：用于食品、藥品包裝的密閉性檢查，有效防止外界空氣和微生物侵入。
科研與實(shí)驗(yàn)：用于科研實(shí)驗(yàn)中的真空系統(tǒng)泄漏檢測(cè)。
HELIOT 711W1是愛發(fā)科在氦質(zhì)譜檢漏領(lǐng)域的一款代表性產(chǎn)品。通過磁場(chǎng)90度偏向型質(zhì)譜分析原理與自由選擇流量方式排氣系統(tǒng)的配合，在實(shí)現(xiàn)0.1×10?12Pa·m3/sec最小可檢泄漏率的同時(shí)，將啟動(dòng)時(shí)間縮短至3分鐘。其6種測(cè)試模式、自動(dòng)校正與調(diào)零、彩色觸摸屏操控、多語言支持及豐富接口等特性，使其成為半導(dǎo)體封裝、新能源電池、真空裝置制造及食品醫(yī)藥包裝等對(duì)氣密性有嚴(yán)格要求的場(chǎng)景中可靠的檢測(cè)工具。
購買渠道：本產(chǎn)品由深圳市京都玉崎電子有限公司負(fù)責(zé)中國區(qū)銷售與技術(shù)支持。公司地址位于深圳市龍華新區(qū)梅龍大道906號(hào)創(chuàng)業(yè)樓。客戶可通過化工儀器網(wǎng)商鋪或直接聯(lián)系銷售團(tuán)隊(duì)進(jìn)行產(chǎn)品咨詢與訂購。深圳京都玉崎憑借供應(yīng)鏈體系和專業(yè)技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)，為客戶提供從選型咨詢、現(xiàn)貨供應(yīng)到售后支持的一站式采購體驗(yàn)。
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