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產(chǎn)品分類
Cassification
更新時(shí)間：2026-07-24 
瀏覽次數(shù)：140曝光設(shè)備是一種用于半導(dǎo)體和液晶顯示屏制造現(xiàn)場(chǎng)的設(shè)備，通過照射光線將電路和像素等圖案描繪到基板上。
由于使用光線且需要在舞臺(tái)和其他地點(diǎn)進(jìn)行精確控制，許多產(chǎn)品體積龐大且價(jià)格高達(dá)數(shù)億美元。 暴露工藝是一種非常重要的裝置，因?yàn)樗鼪Q定半導(dǎo)體和液晶設(shè)計(jì)中設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)（CAD數(shù)據(jù)）的模式。 各種曝光方法已被多家公司開發(fā)并應(yīng)用于設(shè)備中。
曝光設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制造現(xiàn)場(chǎng)和平面顯示器（FPD），包括液晶顯示器。
在半導(dǎo)體制造中，硅晶圓被用作基板形成氧化膜，然后涂上光阻（光導(dǎo)體），然后通過光罩照射照射從曝光裝置發(fā)出的強(qiáng)紫外線到涂層表面，從而通過蝕刻等工藝去除不必要的區(qū)域。 這種使用曝光設(shè)備的方法稱為光刻。
在液晶顯示制造過程中，通常使用玻璃基板，金屬及其他薄膜會(huì)重復(fù)多次薄膜形成、光刻和蝕刻的循環(huán)。
在一個(gè)基板上，可以形成像素電極和開關(guān)元件（如TFT元件），而在另一個(gè)基板上，可以形成具有三種原色光（紅、綠、藍(lán)）的彩色濾光片。 通過將兩個(gè)基板結(jié)合在一起并在中間放置液晶材料，液晶顯示屏面板就完成了。
選擇曝光設(shè)備時(shí)價(jià)格昂貴，因此購(gòu)買前必須與設(shè)備制造商充分討論所用光源類型、精度及舞臺(tái)精度。
讓我來解釋一下曝光裝置的測(cè)量原理。 曝光設(shè)備包括光源、偏轉(zhuǎn)透鏡、光罩、聚焦透鏡、舞臺(tái)和用于運(yùn)輸硅晶圓的機(jī)器人。
鏡頭和光罩設(shè)計(jì)極其精密，舞臺(tái)操作精準(zhǔn)。 在操作過程中，曝光目標(biāo)被精確固定在舞臺(tái)上。 在操作過程中，舞臺(tái)隨著每次曝光移動(dòng)，在整個(gè)曝光目標(biāo)中描繪出眾多圖案。
光源發(fā)出的短而強(qiáng)波長(zhǎng)的光被偏轉(zhuǎn)透鏡對(duì)準(zhǔn)并照射到光罩上，作為電路圖案形成的原型。 通過光罩的光會(huì)被聚光鏡聚焦，該透鏡將極小的電路圖樣映射到被曝光的目標(biāo)上。
一旦整個(gè)目標(biāo)區(qū)域的曝光完成，就會(huì)由機(jī)器人或類似設(shè)備運(yùn)輸。 有些產(chǎn)品允許暴露目標(biāo)穿透液體，從而實(shí)現(xiàn)更高的精度曝光。
2018年，半導(dǎo)體光刻設(shè)備制造商以歐洲（84%）和日本（14%）為主導(dǎo)，歐洲和日本的制造商幾乎壟斷了市場(chǎng)。 此外，液晶顯示器的FPD（平面顯示器）光刻設(shè)備幾乎被兩家日本制造商壟斷。
半導(dǎo)體暴露設(shè)備被認(rèn)為是精密的機(jī)器，最新的半導(dǎo)體已極度微型化，芯片上的布線寬度（工藝規(guī)則）被縮減至3~5納米。
關(guān)于FPD光刻設(shè)備，最新的線寬僅幾微米，且這些器件每年都在變得更薄、越來越大，配備更高的精度和更大的設(shè)備，以實(shí)現(xiàn)更美觀、更高清的圖像。
在半導(dǎo)體光刻設(shè)備中，極紫外（EUV）光刻設(shè)備使用極短波長(zhǎng)的光，稱為極紫外光。
使用傳統(tǒng)ArF準(zhǔn)分子激光的半導(dǎo)體光刻設(shè)備，使加工更細(xì)微但難以加工的尺寸成為可能。 半導(dǎo)體微型化是根據(jù)摩爾定律進(jìn)行的（半導(dǎo)體集成電路在三年內(nèi)實(shí)現(xiàn)了四倍的集成度和功能）。
迄今為止，我們通過縮小投影曝光技術(shù)（步進(jìn)器）、縮短曝光波長(zhǎng)以及開發(fā)沉浸式曝光技術(shù)，大幅提升了分辨率。 微型化意味著可烘烤到晶圓上的最小加工尺寸變小，該最小加工尺寸R由以下瑞利公式表示。
R = k·λ/NA *k 是比例常數(shù)，λ 是曝光波長(zhǎng)，N.A. 是曝光光學(xué)系統(tǒng)的孔徑數(shù)。
通過各種技術(shù)發(fā)展，通過使k變小、λ變小、NA變大，實(shí)現(xiàn)了微型化。 極紫外光刻設(shè)備被認(rèn)為是一種可以通過縮短曝光波長(zhǎng)克服以往限制的技術(shù)，近年來已實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。
FPD（平面顯示器）可以在各種場(chǎng)合出現(xiàn)，如液晶顯示器、等離子顯示屏和OLED顯示器，包括智能手機(jī)、平板電腦和家庭平板電視，既在家庭中，也在城市周邊地區(qū)出現(xiàn)。
FPD光刻設(shè)備用于制造平板顯示器。原則上，它與半導(dǎo)體制造設(shè)備相同：它將光照射到光罩上，通過透鏡在玻璃板上曝光電路圖案，并形成陣列。
此外，還創(chuàng)建了色彩濾鏡以生成顯示圖像和視頻，并結(jié)合數(shù)組，完成了顯示。 彩色濾鏡是一種用于表示圖像或視頻顏色的濾鏡，其中顏料基色阻劑涂在玻璃上以實(shí)現(xiàn)曝光和顯影。
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