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Cassification
更新時間：2026-07-17 
瀏覽次數：166在半導體制造、FPD（平板顯示器）生產及真空鍍膜等前沿工業領域，裝卸腔室（Load Lock Chamber）和PVD（物理氣相沉積）工藝對真空系統的要求日益嚴苛——不僅需要快速排氣、高頻啟停，還對潔凈度和能效提出了更高的標準。傳統真空泵在應對快速循環任務時常面臨發熱量大、功耗高、排氣效率不足等瓶頸。愛發科（ULVAC）LR系列多級羅茨型干式真空泵正是針對這一工況而研發的專用解決方案，其中LR3601-R作為該系列面向大抽速需求的旗艦型號之一，依托多級羅茨無油容積式壓縮與低溫區域均熱化兩大核心技術，以3600m3/h最大抽速、10?1Pa極限壓力、適配PVD與Load Lock工藝等特性，成為面向高負荷快速排氣應用的可靠選擇。
LR3601-R的核心工作原理建立在多級羅茨轉子串聯無油容積式壓縮與低溫區域均熱化兩大技術之上。
多級羅茨轉子串聯無油容積式壓縮
LR3601-R屬于多級羅茨型干式真空泵（Multi-Stage Roots Type Dry Vacuum Pump）。與傳統油封式真空泵不同，多級羅茨干泵在真空室內不使用油或液體，采用多個羅茨轉子級串聯壓縮氣體，實現無油接觸的干式排氣。
泵的核心運動部件由多組精密嚙合的三葉羅茨轉子組成。兩個轉子在同步齒輪的驅動下以高速反向旋轉，彼此之間以及轉子與泵殼之間始終保持微米級的微小間隙。在一根軸上連接有多個轉子，可以壓縮并排出空氣直至大氣壓。
氣體由進氣口吸入后，依次經過每一級羅茨轉子的壓縮——每一級轉子將氣體推入下一級，腔體容積沿輸送方向逐級縮小，氣體被逐步壓縮至大氣壓以上，最終從排氣口排出。這一多級串聯結構將巨大的壓縮比合理分配至多個壓縮階段，使每一級均在高效區間工作。
這種結構從根本上杜絕了油蒸氣返流對被抽腔室的污染，在FPD、電子和半導體行業等需要更高清潔真空的環境中具有不可替代的地位。
低溫區域均熱化
LR系列的核心技術特征在于低溫區域均熱化。愛發科利用干式真空泵內部壓縮過程中產生的熱量，通過獨特的泵體設計使熱量在泵體內部均勻分布。
這一設計的背景在于：裝卸腔室和PVD工藝所排出的氣體主要是空氣、氮氣、氬氣等惰性氣體，不含腐蝕性或反應性氣體。傳統設計在這一應用場景中常存在發熱量大、停機時間長等痛點。LR系列通過低溫均熱化技術，在保證高抽速輸出的同時有效控制泵體溫升，為頻繁啟停的快速排氣應用提供了兼顧效率與可靠性的真空獲取方案。
1. 3600m3/h超大抽速，適配高吞吐量產線
LR3601-R作為LR系列面向大抽速需求的旗艦型號，采用機械增壓泵兩級串聯設計，在裝卸腔室快速排氣、縮短生產節拍方面具有顯著優勢。在裝卸腔室——作為晶圓從大氣環境進入工藝腔室的中轉站——需要在高頻次的裝載和卸載操作中快速完成抽氣和破空循環。縮短裝卸腔室的排氣時間，直接等同于縮短生產節拍、提升設備綜合利用率（OEE）。LR3601-R的3600m3/h超大抽速使這一目標成為現實。
2. 10?1Pa極限壓力
LR3601-R的到達壓力（極限壓力）可達10?1Pa量級。這一壓力水平可滿足PVD工藝、Load Lock腔室排氣等應用對基礎真空度的要求。配合其多級羅茨串聯結構和低溫均熱化設計，在頻繁啟停的高負荷工況下仍能保持穩定的真空性能。
3. 低溫均熱化，專為惰性氣體工藝優化
ULVAC圍繞多級羅茨型干泵構建了LR、HR、UR三大系列，分別應對不同工藝溫度和氣體成分的場景：
| 系列 | 泵體溫控策略 | 目標工藝 | 適用氣體 |
|---|---|---|---|
| LR系列 | 低溫區域均熱化 | PVD、裝卸腔室排氣 | 惰性氣體（空氣、N?、Ar） |
| HR系列 | 高溫區域均熱化 | CVD、干法刻蝕 | 含升華性物質的工藝氣體 |
| UR系列 | 超高溫區域均熱化 | 加熱泵體+加熱管線 | 需要高溫排氣的嚴苛工藝 |
數據來源：愛發科產品技術資料
LR3601-R屬于LR系列，其低溫均熱化設計專為處理空氣、氮氣、氬氣等惰性氣體的PVD和Load Lock工藝優化。
4. ECO-SHOCK節能技術，功耗降低高達80%
LR3601-R可與愛發科ECO-SHOCK節能附件組合使用。ECO-SHOCK是愛發科的一項突破性創新——作為可搭載在現有干泵上的省電部件，它能將干泵的耗電量最大減少80%（與愛發科以往產品相比），同時還有抑制干泵發熱的作用，可降低空調設備的電力消耗。在需要長期連續運行的大規模產線中，這一節能特性可顯著降低電力成本和綜合運營支出。
5. 無油潔凈運行，杜絕碳氫化合物污染
LR3601-R的排氣室內不使用任何油類介質，轉子和氣缸為非接觸運轉，可長時間穩定運行。齒輪和軸承的潤滑采用油，但與氣體通道嚴格隔離。從根源上杜絕了油蒸氣和油霧的產生與返流，避免了油污染對晶圓、光學基板等精密產品的風險。
6. 高耐久性與可靠性
LR系列基于愛發科數十年真空技術積累，在結構強度、熱管理與耐磨性能上均做了工業級強化設計。在大抽速應用中展現出的工藝適應性，使其可滿足7×24小時連續穩定運行的需求。
| 參數 | LR1800 | LR3601-R |
|---|---|---|
| 最大排氣速度（50Hz） | 1800 m3/h | 3600 m3/h |
| 極限壓力 | 10?1 Pa | 10?1 Pa |
| 泵體溫控 | 低溫區域均熱化 | 低溫區域均熱化 |
| 目標工藝 | PVD、Load Lock | PVD、Load Lock |
| 適用氣體 | 空氣、N?、Ar等惰性氣體 | 空氣、N?、Ar等惰性氣體 |
| ECO-SHOCK兼容 | ○ | ○ |
數據來源：愛發科產品技術資料
Load Lock腔室（裝卸腔室） ：在半導體和FPD制造產線中，裝卸腔室是晶圓從大氣環境進入工藝腔室的中轉站，需要在高頻次的裝載和卸載操作中快速完成抽氣和破空循環。LR3601-R的3600m3/h超大抽速和低溫均熱化設計，使其在這一高負荷快速排氣場景中表現突出。
PVD物理氣相沉積：用于濺射、蒸鍍等PVD工藝的真空系統。LR3601-R排出的氣體主要是空氣、氮氣、氬氣等惰性氣體。低溫均熱化設計在保證高抽速輸出的同時有效控制泵體溫升，避免對沉積工藝的溫度干擾。
平板顯示制造：用于FPD產線的大面積真空腔體快速排氣。
真空鍍膜：用于光學鍍膜、裝飾鍍膜等需要快速建立真空環境的鍍膜工藝。
一般工業真空：適用于各類需要高抽速、高頻啟停的潔凈真空應用場景。
LR3601-R是愛發科在低溫均熱化多級羅茨型干式真空泵領域的一款旗艦產品。通過多級羅茨轉子串聯無油容積式壓縮機制與低溫區域均熱化技術的配合，在實現3600m3/h超大抽速和10?1Pa極限壓力的同時，專為處理惰性氣體的PVD和Load Lock工藝優化了泵體溫度控制。其ECO-SHOCK節能技術可將功耗降低高達80%，無油潔凈運行杜絕了碳氫化合物污染風險。LR3601-R憑借其高抽速、低溫均熱化、高能效等綜合特性，使其成為半導體Load Lock腔室、PVD工藝及FPD制造等需要高負荷快速排氣、高頻啟停及潔凈真空的應用場景中可靠的真空獲取方案。
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