愛發(fā)科GLD-137AA高功能規(guī)格油旋片真空泵技術(shù)介紹：雙級(jí)逐級(jí)壓縮原理與工業(yè)級(jí)高真空應(yīng)用

在半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、熱處理及科研實(shí)驗(yàn)等工業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景中，穩(wěn)定可靠的高真空獲得能力直接決定著工藝質(zhì)量與生產(chǎn)效率。愛發(fā)科（ULVAC）GLD-137AA高功能規(guī)格油旋片式真空泵作為GLD系列中的高性能代表型號(hào)，依托雙級(jí)排氣逐級(jí)壓縮技術(shù)，以高極限真空度、強(qiáng)制供油潤(rùn)滑、防逆流保護(hù)三大核心功能模塊，成為面向高真空要求的工業(yè)與科研應(yīng)用場(chǎng)景中兼具性能與可靠性的理想真空源。

一、工作原理：雙級(jí)逐級(jí)壓縮的精密封裝

GLD-137AA的核心工作原理建立在容積式壓縮與油膜密封兩大物理機(jī)制之上。它本質(zhì)上是一種油旋片式容積真空泵——通過旋片在泵腔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，周期性地改變腔體容積，實(shí)現(xiàn)氣體的吸入、壓縮與排出。

泵的核心運(yùn)動(dòng)部件由電機(jī)偏心驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子與安裝在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)的旋片組成：

• 離心密封配合：電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子偏心安裝于泵腔內(nèi)高速旋轉(zhuǎn)，旋片在離心力和彈簧力雙重作用下緊貼泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)，將泵腔分隔成多個(gè)可變?nèi)莘e的工作室。隨著轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)，工作室容積周期性變化——擴(kuò)張時(shí)吸入氣體，收縮時(shí)壓縮并排出氣體。

• 雙級(jí)排氣系統(tǒng)：GLD-137AA采用兩級(jí)排氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)，通過兩個(gè)串聯(lián)的泵腔實(shí)現(xiàn)逐級(jí)壓縮。氣體首先進(jìn)入第一級(jí)（低壓級(jí)）被初步壓縮，隨后進(jìn)入第二級(jí)（高壓級(jí)）進(jìn)一步壓縮至大氣壓以上并排出泵外。與單級(jí)排氣系統(tǒng)相比，雙級(jí)結(jié)構(gòu)可將巨大的壓縮比合理分配至兩個(gè)壓縮階段，使每一級(jí)都在高效區(qū)間工作，從而獲得更低的極限壓力（更好的真空度）。

• 油潤(rùn)滑與密封三重機(jī)制：作為油旋片式真空泵，GLD-137AA使用專用真空泵油（SMR-100）實(shí)現(xiàn)三重核心功能：

• 潤(rùn)滑：減少旋片與泵腔內(nèi)壁的摩擦磨損，保障長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)可靠性

• 密封：填充旋片與腔體間的微小間隙，防止氣體返流，提升氣密性

• 冷卻：帶走壓縮過程中產(chǎn)生的熱量，維持泵體溫度穩(wěn)定

• 保護(hù)：防止內(nèi)部零件腐蝕和氧化，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命

二、核心技術(shù)特點(diǎn)

1. 高極限真空度，滿足嚴(yán)苛工藝需求

GLD-137AA在氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉狀態(tài)下極限壓力可達(dá)0.67Pa（皮拉尼計(jì)測(cè)量值）。這一性能指標(biāo)足以滿足真空鍍膜、真空熱處理、電子束焊接等對(duì)真空度有較高要求的工業(yè)工藝需求。氣鎮(zhèn)閥開啟狀態(tài)下極限壓力為6.7Pa，可在處理含濕氣氣體時(shí)有效防止泵油乳化。

排氣速度方面，50Hz工況下為135L/min，60Hz工況下可達(dá)162L/min，能夠快速建立所需的真空環(huán)境，縮短工藝等待時(shí)間。

2. 氣鎮(zhèn)閥：應(yīng)對(duì)可凝性蒸汽的專業(yè)方案

GLD-137AA配備的氣鎮(zhèn)閥是其關(guān)鍵技術(shù)模塊之一。在抽除含有水蒸氣等可凝性氣體的工況時(shí)，開啟氣鎮(zhèn)閥可向泵腔引入少量干燥空氣，提高混合氣體的露點(diǎn)，使水蒸氣在排氣閥打開之前不會(huì)凝結(jié)。

這一設(shè)計(jì)的核心價(jià)值在于：

• 防止乳化：避免水蒸氣在壓縮過程中凝結(jié)并與真空油混合形成乳化液

• 延長(zhǎng)油壽命：顯著延長(zhǎng)泵油更換周期，降低運(yùn)維成本

• 保持性能穩(wěn)定：防止因油品污染導(dǎo)致的真空性能衰減

3. 強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)：全壓力范圍的潤(rùn)滑保障

與依賴壓差潤(rùn)滑的簡(jiǎn)單泵型不同，GLD-137AA安裝了強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)。這一設(shè)計(jì)確保泵在各種工作壓力下均有穩(wěn)定、充足的油量供應(yīng)，無(wú)論是在大氣壓?jiǎn)?dòng)階段還是在高真空運(yùn)行階段，都能保障旋片與泵腔內(nèi)壁的充分潤(rùn)滑與密封。這不僅提升了泵的可靠性，也顯著延長(zhǎng)了核心運(yùn)動(dòng)部件的使用壽命。

4. 防逆流機(jī)構(gòu)：停電保護(hù)的安心設(shè)計(jì)

GLD-137AA內(nèi)置防逆流機(jī)構(gòu)，在因停電等突發(fā)情況停機(jī)時(shí)自動(dòng)切斷油路，有效防止真空油返流至被抽真空腔室。這一設(shè)計(jì)對(duì)于保護(hù)昂貴的真空腔室、工藝基板及精密儀器免受油污染至關(guān)重要，尤其適用于半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜等對(duì)潔凈度要求嚴(yán)苛的場(chǎng)景。

5. 寬電壓馬達(dá)與國(guó)際認(rèn)證

GLD-137AA配備寬電壓馬達(dá)，符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，可適應(yīng)不同國(guó)家和地區(qū)的電網(wǎng)條件。產(chǎn)品已通過CE認(rèn)證，可在全球范圍內(nèi)合規(guī)部署。

6. 低噪低振與易維護(hù)設(shè)計(jì)

GLD-137AA延續(xù)了GLD系列高性能、低振動(dòng)、低噪聲的家族特性。通過精密動(dòng)平衡調(diào)校與優(yōu)化的減震結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可直接部署于對(duì)噪音和振動(dòng)敏感的生產(chǎn)與實(shí)驗(yàn)環(huán)境。超大油位視窗讓操作人員可直觀觀察泵油量與污染狀態(tài)，配合強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)，大幅降低了日常維護(hù)的復(fù)雜度。

三、性能參數(shù)一覽

數(shù)據(jù)來源：ULVAC技術(shù)資料

四、典型應(yīng)用場(chǎng)景

真空鍍膜：作為真空鍍膜設(shè)備的前級(jí)真空源，為濺射、蒸發(fā)等工藝提供穩(wěn)定可靠的高真空基礎(chǔ)環(huán)境。

真空熱處理：用于真空爐、真空釬焊、真空退火等熱處理工藝的抽真空，保障金屬材料在無(wú)氧環(huán)境下的熱處理品質(zhì)。

半導(dǎo)體與電子制造：適配半導(dǎo)體制程設(shè)備、電子元件生產(chǎn)線的真空系統(tǒng)，滿足對(duì)潔凈度與真空穩(wěn)定性的雙重要求。

科研與實(shí)驗(yàn)室：高校及科研院所物理、化學(xué)、材料等實(shí)驗(yàn)室的高真空實(shí)驗(yàn)配套。

輔助排氣：作為渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的前級(jí)或輔助排氣泵，構(gòu)建多級(jí)真空系統(tǒng)。

五、總結(jié)

GLD-137AA是愛發(fā)科在中等抽速油旋片真空泵領(lǐng)域技術(shù)實(shí)力的集中體現(xiàn)。通過雙級(jí)排氣逐級(jí)壓縮機(jī)制與強(qiáng)制供油潤(rùn)滑系統(tǒng)的精密配合，實(shí)現(xiàn)了0.67Pa的高極限真空度與長(zhǎng)期穩(wěn)定的排氣性能。其氣鎮(zhèn)閥、強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)和防逆流機(jī)構(gòu)三大核心功能模塊的協(xié)同設(shè)計(jì)，使其在含濕氣工藝、突發(fā)停電等復(fù)雜工況下依然保持可靠的真空獲取能力，成為真空鍍膜、熱處理、半導(dǎo)體制造及科研實(shí)驗(yàn)等工業(yè)級(jí)高真空應(yīng)用場(chǎng)景中兼具性能與可靠性的優(yōu)選方案。

購(gòu)買渠道：本產(chǎn)品由深圳市京都玉崎電子有限公司負(fù)責(zé)中國(guó)區(qū)銷售與技術(shù)支持。公司地址位于深圳市龍華新區(qū)梅龍大道906號(hào)創(chuàng)業(yè)樓。客戶可通過化工儀器網(wǎng)商鋪或直接聯(lián)系銷售團(tuán)隊(duì)進(jìn)行產(chǎn)品咨詢與訂購(gòu)。深圳京都玉崎憑借供應(yīng)鏈體系和專業(yè)技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)，為客戶提供從選型咨詢、現(xiàn)貨供應(yīng)到售后支持的一站式采購(gòu)體驗(yàn)。